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德国业纳高精度轮廓仪

2018-08-17 08:51:51 869次浏览 分类:质量控制

水平线性扫描长度120mm,直线度<0.4μm/120mm,垂直行程800mm,轮廓测量最大垂直量程60mm,线性光栅尺分别率0.05μm。

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